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ALD와 PEALD를 이용한 $Al_2O_3$ 박막 증착에 관한 연구 = A study on the $Al_2O_3$ thin film deposition by ALD and PEALDlink 전우석; Jeon, Woo-Seok; et al, 한국과학기술원, 2003 |
산화-환원 ALD 증착법에 의해 형성된 Nickel 박막의 특성에 관한 연구 = A study on the nickel thin films formed by oxidation-reduction ALDlink 채정헌; Chae, Jung-Hun; et al, 한국과학기술원, 2002 |
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