Showing results 2 to 3 of 3
Ta(OC2H5)와 NH3를 이용한 산화탄탈륨 막의 원자층 증착 및 특성 송현정; 심규찬; 이춘수; 강상원, 한국재료학회지, v.8, no.10, pp.945 - 949, 1998-01 |
급속열산화법을 이용한 게이트용 산화막 성장기구에 관한 연구 = Kinetics of rapid thermal oxidation of siliconlink 심규찬; Shim, Kew-Chan; et al, 한국과학기술원, 1996 |
Discover