가간섭 EUV 생성을 위한 미세 패턴의 설계 및 제작Design and Fabrication of Nano-devices for coherent EUV generation
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 진종한 | - |
| dc.contributor.author | 김승철 | - |
| dc.contributor.author | 박인용 | - |
| dc.contributor.author | 김승우 | - |
| dc.date.accessioned | 2013-03-27T09:33:35Z | - |
| dc.date.available | 2013-03-27T09:33:35Z | - |
| dc.date.created | 2012-03-21 | - |
| dc.date.issued | 2008-06-11 | - |
| dc.identifier.citation | 한국정밀공학회 2008년도 춘계학술대회 , v., no., pp.127 - 128 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/161303 | - |
| dc.language | KOR | - |
| dc.publisher | 한국정밀공학회 | - |
| dc.title | 가간섭 EUV 생성을 위한 미세 패턴의 설계 및 제작 | - |
| dc.title.alternative | Design and Fabrication of Nano-devices for coherent EUV generation | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.beginningpage | 127 | - |
| dc.citation.endingpage | 128 | - |
| dc.citation.publicationname | 한국정밀공학회 2008년도 춘계학술대회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.contributor.localauthor | 김승우 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 진종한 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김승철 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 박인용 | - |
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