double exposure와 pyrolysis를 이용한 3차원 미세구조물의 제작
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 이정아 | - |
| dc.contributor.author | 이석우 | - |
| dc.contributor.author | 이광철 | - |
| dc.contributor.author | 박세일 | - |
| dc.contributor.author | 이승섭 | - |
| dc.date.accessioned | 2013-03-27T01:19:39Z | - |
| dc.date.available | 2013-03-27T01:19:39Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 2007-04 | - |
| dc.identifier.citation | 제10회 한국 MEMS 학술대회, v., no., pp. - | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/157815 | - |
| dc.language | KOR | - |
| dc.title | double exposure와 pyrolysis를 이용한 3차원 미세구조물의 제작 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.publicationname | 제10회 한국 MEMS 학술대회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.contributor.localauthor | 이승섭 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이정아 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이석우 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이광철 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 박세일 | - |
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