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반도체 웨이퍼상의 입자 침착속도의 측정 및 제어 = Measurement and control of particle deposition velocity on a semiconductor wafer surfacelink 배귀남; Bae, Gwi-Nam; et al, 한국과학기술원, 1994 |
수직 웨이퍼상의 입자 침착 속도의 측정 배귀남; 이춘식; 박승오; 안강호, 설비공학논문집, v.7, no.3, pp.521 - 527, 1995-08 |
열영동력이 반도체 웨이퍼상의 입자침착에 끼치는 영향 배귀남; 박승오, 대한기계학회 춘계 학술대회, pp.70 - 75, 대한기계학회, 1993 |
열영동력이 수평 웨이퍼상의 입자침착에 미치는 영향 배귀남; 박승오; 이춘식; 안이기, 대한기계학회논문집 A, v.18, no.1, pp.175 - 183, 1994-01 |
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