Deep X-ray 경사공정을 이용한 초소형 삼면 반사체 제작
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 오동영 | - |
| dc.contributor.author | 이승섭 | - |
| dc.contributor.author | 정동관 | - |
| dc.date.accessioned | 2013-03-16T21:03:42Z | - |
| dc.date.available | 2013-03-16T21:03:42Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 2000 | - |
| dc.identifier.citation | 제 2회 MEMS 학술대회, v., no., pp.185 - 190 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/135827 | - |
| dc.language | KOR | - |
| dc.publisher | 대한기계학회 | - |
| dc.title | Deep X-ray 경사공정을 이용한 초소형 삼면 반사체 제작 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.beginningpage | 185 | - |
| dc.citation.endingpage | 190 | - |
| dc.citation.publicationname | 제 2회 MEMS 학술대회 | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.contributor.localauthor | 이승섭 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 오동영 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 정동관 | - |
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- ME-Conference Papers(학술회의논문)
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