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Design and control of a magnetically levitated six degrees-of-freedom planar motor using t-shape halbach magnet array = T형 할바흐 자석배열을 이용한 6 자유도 자기부상 평면모터의 설계 및 제어link Kim, Jung-Jae; 김정재; et al, 한국과학기술원, 2010 |
Dual servo planar motion stage using magnetic levitation technology = 자기부상 기술을 이용한 이중서보 평면구동 스테이지link Ahn, Dahoon; 안다훈; et al, 한국과학기술원, 2013 |
Six degrees-of-freedom dual-servo stage using magnetic levitation technology = 자기 부상 기술을 이용한 6자유도 이중서보 스테이지link Choi, Young-Man; 최영만; et al, 한국과학기술원, 2008 |
자기 부상을 이용한 웨이퍼 반송 시스템에 관한 연구 = A study on wafer transport system based on magnetic levitationlink 안길영; Ahn, Kil-Young; et al, 한국과학기술원, 1996 |
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