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실리콘의 이방성 식각 특성을 이용한 정전 구동형 초소형 거울의 개발 = Development of electrostatically-driven vertical micro mirrors using anisotropic silicon etchinglink 서경선; Seo, Kyoung-Sun; 윤성기; 조영호; et al, 한국과학기술원, 1996 |
주파수 조정 방식의 미소 광 스위치용 실리콘 거울 서경선; 조영호; 윤성기, 대한전기학회 논문지, v.47, no.7, pp.1051 - 1056, 1998-07 |
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