Browse "College of Natural Sciences(자연과학대학)" by Subject 플라즈마 소스 활성종 균일도 식각단일 모드
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| 신공정을 위한 플라즈마 소스의 특성연구와 제어변수의 개발 = On the characteristics of the plasma sources for the new processeslink 엄세훈; Uhm, Sae-Hoon; et al, 한국과학기술원, 2004 |
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Type
- 14,096 Article
- 7,783 Conference
- 934 Patent
- 2,845 Thesis(Master)
- 2,363 Thesis(Ph.D)
Open Access
Date issued
- 3,117 2020 - 2024
- 10,009 2010 - 2019
- 7,104 2000 - 2009
- 5,174 1990 - 1999
- 1,970 1980 - 1989