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낮은 자기장에서 헬리콘 플라즈마의 시간적 진동에 대한 연구와 Lower hybrid resonance에 대한 실험적 고찰 = Plasma density oscillation in helicon plasma with low magnetic fields and experiments for lower hybrid resonancelink 엄세훈; Uhm, Sae-Hoon; et al, 한국과학기술원, 1999 |
신공정을 위한 플라즈마 소스의 특성연구와 제어변수의 개발 = On the characteristics of the plasma sources for the new processeslink 엄세훈; Uhm, Sae-Hoon; et al, 한국과학기술원, 2004 |
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