급속 열처리시 실리콘 웨이퍼에 발생하는 슬립현상의 해석
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 엄윤용 | - |
| dc.contributor.author | 이혁 | - |
| dc.date.accessioned | 2013-03-14T04:25:52Z | - |
| dc.date.available | 2013-03-14T04:25:52Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 1990 | - |
| dc.identifier.citation | 대한기계학회 춘계학술대회 논문집(II), v., no., pp.160 - 163 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/105239 | - |
| dc.language | KOR | - |
| dc.title | 급속 열처리시 실리콘 웨이퍼에 발생하는 슬립현상의 해석 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.citation.beginningpage | 160 | - |
| dc.citation.endingpage | 163 | - |
| dc.citation.publicationname | 대한기계학회 춘계학술대회 논문집(II) | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.identifier.conferencecountry | South Korea | - |
| dc.contributor.localauthor | 엄윤용 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이혁 | - |
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