Browse by Subject 게이트 전극▼a원자층 증착▼a일함수▼a질화티탄▼a탄화티탄▼a화학기상 증착▼a텅스텐▼a로직소자▼a메모리소자
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| Atomic layer deposited metal gate stack for logic and memory devices = 로직 및 메모리 소자를 위한 원자층 증착법을 이용한 금속 게이트 스택link Moon, Jungmin; Cho, Byung Jin; et al, 한국과학기술원, 2018 |
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