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(A) study on UV enhanced gas phase cleaning of silicon wafer = 실리콘 웨이퍼의 자외광 여기 가스상 세정에 관한 연구link Kwon, Sung-Ku; 권성구; et al, 한국과학기술원, 2000 |
In-situ radio-frequency 세정에 의한 $TiSi_2$ 연구 = A study of $TiSi_2$ formation by in-situ radio-frequency cleaninglink 배종욱; Bae, Jong-Uk; et al, 한국과학기술원, 1998 |
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