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Browse by Subject 급속열처리

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1
In-situ radio-frequency 세정에 의한 $TiSi_2$ 연구 = A study of $TiSi_2$ formation by in-situ radio-frequency cleaninglink

배종욱; Bae, Jong-Uk; et al, 한국과학기술원, 1998

2
Pulsed RTA를 이용한 비정질 Si 박막의 결정화 연구 = Crystallization of amorphous Si thin film using pulsed RTAlink

강승모; Kang, Seung-Mo; et al, 한국과학기술원, 2007

3
기상유도결정화 및 RTA 공정에 의한 다결정 Si 박막의 제조 및 다결정 Si 박막 트랜지스터 특성에 관한 연구 = Fabrication of polycrystalline Si films by vapor-induced crystallization and rapid thermal annealing process and characterization of polycrystalline Si thin film transistorslink

양용호; Yang, Yong-Ho; et al, 한국과학기술원, 2011

4
기상유도결정화법과 급속열처리를 이용한 다결정 Si 박막에서의 Ni 금속 오염량 감소 및 다결정 Si 박막 트랜지스터 특성에 관한 연구 = Control of Ni contamination in polycrystalline Si films by vapor-induced crystallization and rapid thermal annealing process and characterization of polycrystalline Si thin film transistorslink

김존수; Kim, John-Soo; et al, 한국과학기술원, 2013

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