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대면적 평면 마그네트론 스퍼터링 시스템의 플라즈마 발생 및 박막증착에 관한 수치적 연구 = A computational study on plasma generation and film deposition in a large-area planar magnetron sputtering systemlink

권의희; Kwon, Ui-Hui; et al, 한국과학기술원, 2004

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