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코스퍼터링 $TiSi_2$ 박막의 상변태(C49→C54)와 응력해석 = Phase transformation (C49→C54) of $TiSi_2$ Co-Sputtered thin film and stress analysislink 김종환; Kim, Jong-Hwan; et al, 한국과학기술원, 1997 |
타이타늄실리사이드 박막의 응집현상과 응력의 영향에 관한 연구 = Study on the agglomeration of TiSi2 thin film and stress effectlink 나종주; Rha, Jong-Joo; et al, 한국과학기술원, 1997 |
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