Browse by Type Conference

Showing results 29741 to 29760 of 109491

29741
ECR PECVD법에 의한 PbTiO3박막제조

이원종; 노광수; 정성웅; 신중식; 김재환, 한국요업학회 추계학술연구발표회, 한국요업학회, 1993

29742
ECR PECVD법으로 증착한 PZT 커패시터의 전극이 미치는 영향

이원종; 이희철, 한국재료학회 춘계학술발표대회, pp.0 - 0, 2000-05-01

29743
ECR plasma enhanced multi-target sputtering 법을 이용한 Pb(Zr,Ti)O3 박막의 제조 및 특성 평가

이원종; 김성태; 김현호, 한국재료학회 추계학술연구발표회 1996, pp.0 - 0, 1996-01-01

29744
ECR plasma oxidation effects on performance and stability of polysilicon thin film transistors

Lee Jung-Yeal; Han Chul-Hi; Kim, Choong Ki, Proceedings of the 1994 IEEE International Electron Devices Meeting, pp.523 - 526, 1994-12-11

29745
ECR thermal oxidation을 이용한 Bottom gate poly-Si TFT의 제작 및 특성 분석

한철희, 한국반도체학술대회, 1995

29746
ECR 플라즈마를 이용한 Cu박막의 건식 식각특성에 관한 연구

이원종; 천성순, 한국재료학회 1995 추계학술연구발표회, pp.0 - 0, 한국재료학회, 1995-11

29747
ECR-Mocvd를 이용한 SrTiO3박막의 증착 및 특성 평가

노광수; 이준성; 송한욱; 전병혁; 이원종; 유병곤, 한국요업학회 추계발표대회, 한국요업학회, 1995-01-01

29748
ECR-MOCVD법을 이용한 BaxSr1-xTiO3 박막의 제조 및 특성평가

노광수, 한국재료학회 추계학술발표 1995, 한국재료학회, 1995-01-01

29749
ECR-MOCVD법을 이용한 PLZT박막의 제조

노광수, 한국재료학회 추계학술발표, 한국재료학회, 1995-01-01

29750
ECR-PECVD 방법에 의한 탄탈륨 산화 박막에 증착 온도 및 열처리 온도가 미치는 영향

이원종, 한국요업학회 1993 추계학술연구발표회, pp.0 - 0, 1993-01-01

29751
ECR-PECVD Ta2O5 증착시 형성되는 SiO2에 관한 연구

이원종; 안성덕; 김일; 김종석; 권기원; 안성태, 한국재료학회 추계학술발표 1993, pp.0 - 0, 1993-01-01

29752
ECR-PECVD방법으로 증착된 탄탈륨 산화박막의 전기적 성질에 미치는 증착변수의 영향

이원종; 조복원; 김종석; 김일; 권기원; 안성태, 한국재료학회 추계학술연구발표회1993, pp.0 - 0, 1993-01-01

29753
ECR-PECVD법으로 증착된 Al2O3절연 박막의 특성에 관한 연구

이원종; 이재균; 전병혁, 한국재료학회 춘계학술연구발표회 1993, pp.0 - 0, 1993-01-01

29754
ECR-PECVD법을 사용한 VLSI DRAM용 PZT박막제조

노광수; 김재환; 신중식; 김성태; 위당문; 이원종, 한국진공학회 추계학술발표대회, 한국진공학회, 1995-01-01

29755
ECR-PECVD와 RF-PECVD법에 의해 증착된 TiN 박막의 특성비교

이원종; 전병혁; 김종석; 이응직; 백종태; 강상원, 한국요업학회 추계학술연구발표회 1994, pp.0 - 0, 1994-01-01

29756
ECR-PEMOCVD법으로 증착한 SrTiO3 박막에 Ar carrier gas의 flow rate가 미치는 영향

노광수; 박순연; 최종완; 김은아, 한국요업학회 추계학술발표대회, 한국요업학회, 1999-01-01

29757
ECR-PEMOCVD법을 이용한 BaxSr1-xTiO3 박막의 제조 및 특성평가

노광수; 이준성; 송한욱; 전병혁; 곽동화; 유병곤, 한국재료학회 추계학술발표, v.B31, 한국재료학회, 1995

29758
ECR-PEMOCVD법을 이용한 ST thin film 증착시 Ti single source의 제어

노광수; 박순연; 최종완; 김은아, 한국요업학회 춘계학술발표, 한국요업학회, 1999-01-01

29759
ECR-plasma가 TiO2 박막의 성장에 미치는 영향

이원종; 노광수; 이준성; 윤대성; 전병혁; 유병곤, 한국요업학회 춘계학술연구발표회 1995, pp.0 - 0, 한국요업학회, 1995-01-01

29760
ECRCVD에 의해 증착한 SiOF 저유전율 박막의 고유응력 발생원인

최시경; Kim, SP, 추계 한국요업학회, 1999

rss_1.0 rss_2.0 atom_1.0