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52941
ECR-PECVD 법으로 제조한 PZT 박막의 물성 연구 = Characteriszation of PZT thin films prepared by ECR-PECVDlink

김재환; Kim, Jae-Whan; 위당문; 이원종; et al, 한국과학기술원, 1996

52942
ECR-PECVD 법으로 증착된 $Al_2O_3$ 박막의 증착 특성에 관한 연구 = Deposition characteristics of the ECR-PECVD $Al_2O_3$ thin filmslink

이재균; Lee, Jae-Kuin; et al, 한국과학기술원, 1994

52943
ECR-PECVD 법으로 증착한 TiN 박막의 Cu에 대한 확산방지막 특성 = The barrier property of ECR-PECVD TiN film against Cu diffusionlink

이수정; Lee, Soo-Jeong; et al, 한국과학기술원, 1997

52944
ECR-PECVD방법으로 증착된 탄탈륨 산화박막의 전기적 성질에 미치는 증착변수의 영향

이원종; 조복원; 김종석; 김일; 권기원; 안성태, 한국재료학회 추계학술연구발표회1993, pp.0 - 0, 1993-01-01

52945
ECR-PECVD법으로 증착된 Al2O3절연 박막의 특성에 관한 연구

이원종; 이재균; 전병혁, 한국재료학회 춘계학술연구발표회 1993, pp.0 - 0, 1993-01-01

52946
ECR-PECVD법을 사용한 ULSI DRAM 용 PZT 박막 제조

김재환; 신중식; 김성태; 노광수; 위당문; 이원종, 한국진공학회지, v.4, no.1, pp.145 - 150, 1995-04

52947
ECR-PECVD법을 사용한 VLSI DRAM용 PZT박막제조

노광수; 김재환; 신중식; 김성태; 위당문; 이원종, 한국진공학회 추계학술발표대회, 한국진공학회, 1995-01-01

52948
ECR-PECVD와 RF-PECVD법에 의해 증착된 TiN 박막의 특성비교

이원종; 전병혁; 김종석; 이응직; 백종태; 강상원, 한국요업학회 추계학술연구발표회 1994, pp.0 - 0, 1994-01-01

52949
ECR-PEMOCVD법으로 제조한 $SrTiO_3$ 박막의 단차 피복성에 관한 연구 = A study on the step coverage of $SrTiO_3$ thin films fabricated using ECR-PEMOCVDlink

박순연; Park, Soon-Yon; et al, 한국과학기술원, 2000

52950
ECR-PEMOCVD법으로 증착한 SrTiO3 박막에 Ar carrier gas의 flow rate가 미치는 영향

노광수; 박순연; 최종완; 김은아, 한국요업학회 추계학술발표대회, 한국요업학회, 1999-01-01

52951
ECR-PEMOCVD법을 이용한 $SrTiO_3$박막과 $(BaSr)TiO_3$ 박막의 제조 및 특성분석 = Fabrication and characterization of $SrTiO_3$ and $BaSrTiO_3$ thin films using ECR-PEMOCVDlink

이준성; Lee, Joon-Sung; et al, 한국과학기술원, 1998

52952
ECR-PEMOCVD법을 이용한 BaxSr1-xTiO3 박막의 제조 및 특성평가

노광수; 이준성; 송한욱; 전병혁; 곽동화; 유병곤, 한국재료학회 추계학술발표, v.B31, 한국재료학회, 1995

52953
ECR-PEMOCVD법을 이용한 ST thin film 증착시 Ti single source의 제어

노광수; 박순연; 최종완; 김은아, 한국요업학회 춘계학술발표, 한국요업학회, 1999-01-01

52954
ECR-plasma가 TiO2 박막의 성장에 미치는 영향

이원종; 노광수; 이준성; 윤대성; 전병혁; 유병곤, 한국요업학회 춘계학술연구발표회 1995, pp.0 - 0, 한국요업학회, 1995-01-01

52955
ECR-플라즈마 화학 증착법에 의해 제조된 Ta2O5 박막의 유전 특성

조복원; 안성덕; 이원종, 한국세라믹학회지, v.31, no.11, pp.1330 - 1336, 1994-04

52956
ECR-플라즈마 화학 증착법에 의해 탄탈륨 산화 박막 제조시 증착 변수 및 열처리 조건이 증착층의 전기적 성질에 미치는 영향 = The effects of the deposition variable and annealing condition on the electrical properties of the Ta2O5 thin films deposited by ECR-PECVDlink

조복원; Cho, Bok-Won; et al, 한국과학기술원, 1994

52957
ECRCVD에 의해 증착한 SiOF 저유전율 박막의 고유응력 발생원인

최시경; Kim, SP, 추계 한국요업학회, 1999

52958
ECRPECVD법으로 증착한 SiOF박막의 잔류응력 안정화에 관한 연구A study on the stabilization of residual stress in SiOF thin films deposited by electron cyclotron resonance plasma enhanced chemical vapor deposition

최시경; 김석필; 박영수; 정일섭, 한국요업학회, pp.192 -, 2000

52959
ECS를 위한 소형화 된 멀티 안테나 설계

김정후; 김동조; 이문규; 유종원, 대한전자공학회 마이크로파 및 전파전파 학술대회, pp.50 - 50, 대한전자공학회, 2009

52960
Ectoine and hydroxyectoine inhibit aggregation and neurotoxicity of Alzheimers beta-amyloid

Kanapathipillai, M; Lentzen, G; Sierks, M; Park, Chan Beum, FEBS LETTERS, v.579, no.21, pp.4775 - 4780, 2005-08

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