DC Field | Value | Language |
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dc.contributor.author | 송해상 | ko |
dc.contributor.author | 이지영 | ko |
dc.contributor.author | 김탁곤 | ko |
dc.date.accessioned | 2013-03-09T18:48:02Z | - |
dc.date.available | 2013-03-09T18:48:02Z | - |
dc.date.created | 2012-02-06 | - |
dc.date.created | 2012-02-06 | - |
dc.date.issued | 2010-09 | - |
dc.identifier.citation | 한국시뮬레이션학회 논문지, v.19, no.3, pp.45 - 54 | - |
dc.identifier.issn | 1225-5904 | - |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/97188 | - |
dc.description.abstract | 반도체 제조공정에 내재된 복잡성은 작업일정(job scheduling) 문제를 해석적 방법으로는 풀기 어렵기 때문에 보통 시스템 파라미터의 변화에 대한 효과를 이산사건 모델링 시뮬레이션에 의존하여 왔다. 한편 장비 고장 등 예측 불가능한 사건들은 고정된 작업일정 기법을 사용할 경우 전체 공정의 효율을 악화시킨다. 따라서 이러한 불확실성에 대해 최적의 성능을 내기 위해서는 작업일정을 실시간으로 대처 변경하는 것이 필요하다. 본 논문은 반도체 제조 공정에 대해 시스템 제어관점의 접근방 법을 적용하여 이 문제에 적응형 실시간 작업제어 틀을 제안하고, DEVS 모델링 시뮬레이션 환경을 기반으로 제안된 틀을 설계 구현하였다. 제안된 방법은 기존의 임기응변적인 소프트웨어적인 방법에 비추어볼 때 전체 시스템을 이해하기 쉬우면서도 또한 추가되는 작업제어 규칙도 쉽게 추가 적용할 수 있는 유연성을 장점으로 가지고 있다. 여러 가지 실험결과 제안된 적응형 실시간 작업제어 프레임워크는 고정 작업규칙 방법에 비해 훨씬 나은 결과를 보여주어 그 효용성을 입증하였다. | - |
dc.language | Korean | - |
dc.publisher | 한국시뮬레이션학회 | - |
dc.title | DEVS-based Modeling Simulation for Semiconductor ManufacturingUsing an Simulation-based Adaptive Real-time Job Control Framework | - |
dc.title.alternative | 시뮬레이션 기반 적응형 실시간 작업 제어 프레임워크를 적용한 웨이퍼 제조 공정 DEVS 기반 모델링 시뮬레이션 | - |
dc.type | Article | - |
dc.type.rims | ART | - |
dc.citation.volume | 19 | - |
dc.citation.issue | 3 | - |
dc.citation.beginningpage | 45 | - |
dc.citation.endingpage | 54 | - |
dc.citation.publicationname | 한국시뮬레이션학회 논문지 | - |
dc.identifier.kciid | ART001482378 | - |
dc.contributor.localauthor | 김탁곤 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 송해상 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 이지영 | - |
dc.subject.keywordAuthor | DEVS 모델링 시뮬레이션 | - |
dc.subject.keywordAuthor | 실시간 작업 스케쥴링 | - |
dc.subject.keywordAuthor | 반도체 제조 공정 제어 | - |
dc.subject.keywordAuthor | DEVS modeling simulation | - |
dc.subject.keywordAuthor | Real-time Job Scheduling | - |
dc.subject.keywordAuthor | Semiconductor Fabrication Process | - |
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