질산인듐 수용액의 초음파 분무에 의한 산화인듐 입자의 제조

Abstract

초음파 분무 장치가 장착된 에어로솔 반응기에서 질산인듐 수용액을 열분해하여 응집이 없는 산화인듐 입자를 제조하였다. 수용액중 질산인듐 농도가 0.05 mol%에서 4.83 mol%까지 증가함에 따라 구형입자의 크기는 3 μm에서 11 μm로 증가하였다. 전구체 수용액의 유입속도를 0.1에서 0.8 ㎤/min까지 증가시켰을 때 입자의 크기는 변하지 않고 입자의 생산량만 증가함을 확인하였다. 반응기의 온도가 300℃일때는 결정성이 낮은 흰색의 산화인듐 입자가 제조되었으나 온도가 700℃까지 증가함에 따라 점차 노란색의 결정성이 증가된 입자가 제조되었다. 700℃ 까지는 온도 증가에 따라 입자의 크기에 큰 변화가 없었다. 온도 증가에 따라 제조된 입자의 순도가 높아짐을 적외선 분광 스펙트럼과 TGA 분석에 의해 확인하였다.