얇은AlSb 완충층을 사용한 GaSb/ Si(001) 박막평가Dependence of thin AlSb buffer of GaSb/Si(001)
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 노영균 | ko |
| dc.contributor.author | 김문덕 | ko |
| dc.contributor.author | 권영진 | ko |
| dc.contributor.author | 김송강 | ko |
| dc.contributor.author | 김영헌 | ko |
| dc.contributor.author | 박세린 | ko |
| dc.contributor.author | 오재응 | ko |
| dc.contributor.author | 이정용 | ko |
| dc.date.accessioned | 2013-03-08T12:24:56Z | - |
| dc.date.available | 2013-03-08T12:24:56Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 2006-07 | - |
| dc.identifier.citation | 새물리, v.53, no.1, pp.34 - 38 | - |
| dc.identifier.issn | 0374-4914 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/92999 | - |
| dc.description.abstract | Molecular Beam Epitaxy 법을 이용하여 Si(001) 기판 위에 저온에서 성장된 얇은 AlSb 완충층을 사용하여 GaSb박막을 성장하였다. AlSb 완충층의 표면 및 격자상수 변화와 성장된 GaSb 박막의 결정성을 평가하기 위하여 reflection high-energy electron diffraction, atomic force microscope, high-resolution X-ray diffraction, transmission electron microscope를 각각 사용하였다. AlSb 완충층 없이 직접 GaSb박막을 성장하였을 때 3차원 성장을 보였지만 저온의 얇은 AlSb 완충층을 사용하였을 때 Si과 GaSb의 접합계면에서의 결함을 줄여주어 GaSb 박막의 결정성 향상에 기여함을 확인하였다. 초기 성장 시 Si(001)위에 Sb 흡착을 했을 때가 안 했을 때 보다 GaSb 박막의 결정성이 더 좋음을 아울러 확인하였다. | - |
| dc.language | Korean | - |
| dc.publisher | 한국물리학회 | - |
| dc.title | 얇은AlSb 완충층을 사용한 GaSb/ Si(001) 박막평가 | - |
| dc.title.alternative | Dependence of thin AlSb buffer of GaSb/Si(001) | - |
| dc.type | Article | - |
| dc.type.rims | ART | - |
| dc.citation.volume | 53 | - |
| dc.citation.issue | 1 | - |
| dc.citation.beginningpage | 34 | - |
| dc.citation.endingpage | 38 | - |
| dc.citation.publicationname | 새물리 | - |
| dc.identifier.kciid | ART001019131 | - |
| dc.contributor.localauthor | 이정용 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 노영균 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김문덕 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 권영진 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김송강 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김영헌 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 박세린 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 오재응 | - |
| dc.subject.keywordAuthor | AlSb | - |
| dc.subject.keywordAuthor | GaSb | - |
| dc.subject.keywordAuthor | MBE | - |
| dc.subject.keywordAuthor | Buffer | - |
| dc.subject.keywordAuthor | AlSb | - |
| dc.subject.keywordAuthor | GaSb | - |
| dc.subject.keywordAuthor | MBE | - |
| dc.subject.keywordAuthor | 완충층 | - |
- Appears in Collection
- MS-Journal Papers(저널논문)
- Files in This Item
- There are no files associated with this item.
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.