DC Field | Value | Language |
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dc.contributor.author | 박민철 | ko |
dc.contributor.author | 김승우 | ko |
dc.contributor.author | 임노빈 | ko |
dc.date.accessioned | 2013-03-05T02:08:45Z | - |
dc.date.available | 2013-03-05T02:08:45Z | - |
dc.date.created | 2012-02-06 | - |
dc.date.created | 2012-02-06 | - |
dc.date.issued | 2001-10 | - |
dc.identifier.citation | 한국광학회지, v.12, no.5, pp.362 - 370 | - |
dc.identifier.issn | 1225-6285 | - |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/84929 | - |
dc.description.abstract | 간섭계의 수차는 물체광과 기준광이 서로 상쇄하는 것으로 알려져 있지만, 물체가 기울어진 경우 완벽한 상쇄가 이루어지지 않아 간섭무늬에 영향을 준다. 본 논문에서는 수치 해석을 통해 이 현상이 백색광 주사 간섭무늬의 두 정점 중, 위상 정점에 직접적인 영향을 주어 오차로 작용함을 보인다. 위상 정점은 가시도 정점에 비하여 높은 분해능과 외란에 대해 강인한 반면, 광학계의 수차에 의해 차수 계산의 부정확함이 유발되고, 측정 정밀도가 떨어지는 단점을 갖는다. 두 정점의 차이 값 계산을 실험한 결과, 위상 정점은 100nm 수준의 오차를 갖고, 특히 그 오차가 광학계의 정렬 오차에 기인함을 보인다. | - |
dc.language | Korean | - |
dc.publisher | 한국광학회 | - |
dc.title | 광학계 수차에 의한 백색광 간섭계의 측정 오차에 대한 연구 | - |
dc.title.alternative | Aberration effects on white light interferometry | - |
dc.type | Article | - |
dc.type.rims | ART | - |
dc.citation.volume | 12 | - |
dc.citation.issue | 5 | - |
dc.citation.beginningpage | 362 | - |
dc.citation.endingpage | 370 | - |
dc.citation.publicationname | 한국광학회지 | - |
dc.contributor.localauthor | 김승우 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 박민철 | - |
dc.contributor.nonIdAuthor | 임노빈 | - |
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