열기계적으로 연마한 다이아몬드 막의 적외선 투과도 및 표면구조IR Transmittance and Surface Structure of Diamond Film Polished by Thermomechanical Method
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 정상기 | ko |
| dc.contributor.author | 최시경 | ko |
| dc.contributor.author | 정대영 | ko |
| dc.contributor.author | 최한메 | ko |
| dc.contributor.author | 권순용 | ko |
| dc.date.accessioned | 2013-03-03T08:18:09Z | - |
| dc.date.available | 2013-03-03T08:18:09Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 1995 | - |
| dc.identifier.citation | 한국세라믹학회지, v.32, no.6, pp.697 - 702 | - |
| dc.identifier.issn | 1229-7801 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/77929 | - |
| dc.description.abstract | 열 필라멘트 화학기상증착법에 의해서 제작한 다이아몬드 막의 거친 성장면을 열기계적 연마법에 의해서 연마한 후, 적외선 영역에서의 투과도 측정, 막 표면의 구조분석을 통하여 광학적 창에의 응용을 검토하였다. 비교를 위해 증착상태 및 기계연마한 막에 대해서도 동일 실험을 행하였다. 기계연마한 막의 투과도는 약 57~66%를 나타내는 반면, 열기계적으로 연마한 경우는 약 35% 이하로 상당히 낮은 투과도를 나타내었으며 증착한 상태의 그것과 비슷하였다. 이 투과도의 감소는 열기계적으로 연마하는 경우 연마과정 중에 연마면에서는 다이아몬드의 흑연화, Si 기판과의 계면에서는 β-SiC의 성장에 의한 광범위 흡수효과에 기인한 것이었다. 또한, 열기계적으로 연마한 표면에서는 Fe가 잔존하였으며 이것이 다이아몬드의 흑연화에의 촉매 역할을 하였다. | - |
| dc.language | Korean | - |
| dc.publisher | 한국세라믹학회 | - |
| dc.title | 열기계적으로 연마한 다이아몬드 막의 적외선 투과도 및 표면구조 | - |
| dc.title.alternative | IR Transmittance and Surface Structure of Diamond Film Polished by Thermomechanical Method | - |
| dc.type | Article | - |
| dc.type.rims | ART | - |
| dc.citation.volume | 32 | - |
| dc.citation.issue | 6 | - |
| dc.citation.beginningpage | 697 | - |
| dc.citation.endingpage | 702 | - |
| dc.citation.publicationname | 한국세라믹학회지 | - |
| dc.contributor.localauthor | 최시경 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 정상기 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 정대영 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 최한메 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 권순용 | - |
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