고체표면의 비점유 전자에너지 상태를 연구하고자 역광전자분광기를 제작하고 시험하였다. 이 분광기는 초고진공 챔버속에 저에너지 전자총과 광검출기로 구성되어 있다. 전자총은 궤도 시뮬레이션과 전류 측정을 통해 좋은 집속도와 높은 전류밀도를 가지고 있음을 알 수 있었다. 이 분광기의 전체적인 분해능은 0.74eV이고, 광검출기의 감도는 약 10 counts/sec·μA이다. 하나의 결과로서 Ge(111) 시료의 역광전자분광스펙트럼은 이론적인 계산결과와 잘 일치하였다.