고배율 광학현미경의 초정밀 능동 자동초점방법Active auto-focusing of high-magnification optical microscopes
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 이호재 | ko |
| dc.contributor.author | 이상윤 | ko |
| dc.contributor.author | 김승우 | ko |
| dc.date.accessioned | 2013-02-28T05:35:42Z | - |
| dc.date.available | 2013-02-28T05:35:42Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 1996 | - |
| dc.identifier.citation | 한국광학회지, v.7, no.2, pp.101 - 111 | - |
| dc.identifier.issn | 1225-6285 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/73035 | - |
| dc.description.abstract | 최근들어 반도체 산업의 자동검사장비에 고배율 광학현미경이 많이 사용되고 있다. 이러한 고배율 광학현미경에 있어서 선결과제가 물체를 광학현미경에 사용된 대물렌즈의 초점심도 내에 위치시키는 초점맞춤작업이다. 본 논문에서는 광삼각법을 기본구성으로하고 수광부에 2개의 2분할소자를 사용함으로써 물체의 표면상태에 둔감하면서 물체의 초점오차량에는 매우 민감한 초점오차신호를 만들어줄 수 있는 새로운 자동초점방법을 소개하였다. 얻어진 실험결과에 의하면 이 방법의 신호분해능은 5nm이며, 반복능은 0.5㎛이다. | - |
| dc.language | Korean | - |
| dc.publisher | 한국광학회 | - |
| dc.title | 고배율 광학현미경의 초정밀 능동 자동초점방법 | - |
| dc.title.alternative | Active auto-focusing of high-magnification optical microscopes | - |
| dc.type | Article | - |
| dc.type.rims | ART | - |
| dc.citation.volume | 7 | - |
| dc.citation.issue | 2 | - |
| dc.citation.beginningpage | 101 | - |
| dc.citation.endingpage | 111 | - |
| dc.citation.publicationname | 한국광학회지 | - |
| dc.contributor.localauthor | 김승우 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이호재 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이상윤 | - |
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- ME-Journal Papers(저널논문)
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