고주파 평면 마그네트론 스퍼터링 법으로 제작한 ZnO 박막의 원자 충돌로 인한 결정성 변화
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 한봉명 | ko |
| dc.contributor.author | 조재흥 | ko |
| dc.contributor.author | 장수 | ko |
| dc.contributor.author | 최재형 | ko |
| dc.contributor.author | 이정용 | ko |
| dc.contributor.author | 김수용 | ko |
| dc.date.accessioned | 2013-02-28T05:09:08Z | - |
| dc.date.available | 2013-02-28T05:09:08Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 1996-01 | - |
| dc.identifier.citation | 응용물리, v.9, no.0, pp.0 - 33 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/72928 | - |
| dc.language | Korean | - |
| dc.publisher | 한국물리학회 | - |
| dc.title | 고주파 평면 마그네트론 스퍼터링 법으로 제작한 ZnO 박막의 원자 충돌로 인한 결정성 변화 | - |
| dc.type | Article | - |
| dc.type.rims | ART | - |
| dc.citation.volume | 9 | - |
| dc.citation.issue | 0 | - |
| dc.citation.beginningpage | 0 | - |
| dc.citation.endingpage | 33 | - |
| dc.citation.publicationname | 응용물리 | - |
| dc.contributor.localauthor | 김수용 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 한봉명 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 조재흥 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 장수 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 최재형 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이정용 | - |
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