Electron Cyclotron Resonance N2O-플라즈마 게이트 산화막을 사용한 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 성능 향상 및 단채널 효과 억제Improved Performance and Suppressed Short-Channel Effects Polycrytalline Silicon Thin Film Transistors with Electron Cyclotron Resonance N2O-Plasma Gate Oxide
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 이진우 | ko |
| dc.contributor.author | 이내인 | ko |
| dc.contributor.author | 한철희 | ko |
| dc.date.accessioned | 2013-02-27T18:47:23Z | - |
| dc.date.available | 2013-02-27T18:47:23Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 1998-12 | - |
| dc.identifier.citation | 전자공학회논문지 | - |
| dc.identifier.issn | 1016-135X | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/70192 | - |
| dc.language | Korean | - |
| dc.publisher | 대한전자공학회 | - |
| dc.title | Electron Cyclotron Resonance N2O-플라즈마 게이트 산화막을 사용한 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 성능 향상 및 단채널 효과 억제 | - |
| dc.title.alternative | Improved Performance and Suppressed Short-Channel Effects Polycrytalline Silicon Thin Film Transistors with Electron Cyclotron Resonance N2O-Plasma Gate Oxide | - |
| dc.type | Article | - |
| dc.type.rims | ART | - |
| dc.citation.publicationname | 전자공학회논문지 | - |
| dc.contributor.localauthor | 한철희 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이진우 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이내인 | - |
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