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| 기계적 비선형 변조기를 이용한 디지털 구동의 안정화와 나노 구동정도 구현을 위한 디지털 마이크로액추에이터 조영호; 이원철; 진영현, 대한기계학회논문집 A, v.28, no.12, pp.1990 - 1996, 2004-12 |
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