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Plasma etching of copper using ultraviolet irradiation = 자외선 조사를 이용한 구리의 플라즈마 식각link Choi, Kang-Sik; 최강식; et al, 한국과학기술원, 2000 |
자외선 복사와 유도결합 플라즈마를 이용한 구리 식각 = Plasma etching of copper using UV radiation and inductively coupled plasmalink 최강식; Choi, Kang-Sik; et al, 한국과학기술원, 1995 |
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