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ECR PECVD방법에 의한 탄탈륨 산화 박막에 증착 온도 및 열처리 온도가 미치는 영향(초록 No;C-32) 이원종; 이정용; 안성덕; 조복원; 김종석; 김일; 권기원; et al, 한국요업학회 추계학술연구발표회, 1993 |
ECR-PECVD방법으로 증착된 탄탈륨 산화박막의 전기적 성질에 미치는 증착변수의 영향 이원종; 조복원; 김종석; 김일; 권기원; 안성태, 한국재료학회 추계학술연구발표회1993, pp.0 - 0, 1993-01-01 |
ECR-플라즈마 화학 증착법에 의해 제조된 Ta2O5 박막의 유전 특성 조복원; 안성덕; 이원종, 한국세라믹학회지, v.31, no.11, pp.1330 - 1336, 1994-04 |
ECR-플라즈마 화학 증착법에 의해 탄탈륨 산화 박막 제조시 증착 변수 및 열처리 조건이 증착층의 전기적 성질에 미치는 영향 = The effects of the deposition variable and annealing condition on the electrical properties of the Ta2O5 thin films deposited by ECR-PECVDlink 조복원; Cho, Bok-Won; et al, 한국과학기술원, 1994 |
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