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New sequences of Dual-Armed cluster tools with long cleaning times and periods and reducing wafer completion interval variability = 긴 챔버 클리닝 시간과 간격을 갖는 양팔 클러스터장비의 웨이퍼 완료 간격 변동 감소를 위한 새로운 로봇작업 순서link Martha, Gevinda Arulia; 마르타 게빈다 아룰리아; et al, 한국과학기술원, 2023 |
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