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Electromagnetic microactuators with the electroplated planar coils driven by radial magnetic field = 방사형 자기장 및 전기도금된 평면코일을 이용한 전자기형 마이크로 액추에이터link Ryu, Ji-Chul; 류지철; et al, 한국과학기술원, 1999 |
방사형 자기장 내의 전기도금된 평면코일을 이용한 전자기형 마이크로 액추에이터 류지철; 강태구; 조영호, 대한기계학회논문집 A, v.0, no.1, pp.16 - 24, 2001-01 |
방사형 자기장 내의 전기도금된 평면코일을 이용한 전자기형 마이크로 액추에이터 류지철; 강태구; 조영호, 제1회 MEMS 학술대회, pp.29 - 36, 1999-04 |
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