Showing results 5 to 6 of 6
저압화학증착된 혼합상 실리콘 박막의 형성기구에 관한 투과전자현미경 연구 김진혁; 이정용; 이승창; 남기수, 대한금속·재료학회지, v.33, no.6, pp.730 - 736, 1995-12 |
트렌티 식각시 식각 방지막의 형성과 이들이 결함 생성에 미치는 영향 이주욱; 김상기; 김종대; 구진근; 이정용; 남기수, 한국재료학회지, v.8, no.7, pp.634 - 640, 1998-12 |
Discover