전자싸이클로트론 공명에 의한 Ar 방전 플라즈마에서의 전자밀도 및 이온에너지의 특성
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 김용진 | ko |
| dc.contributor.author | 김정형 | ko |
| dc.contributor.author | 이평우 | ko |
| dc.contributor.author | 송선규 | ko |
| dc.contributor.author | 장홍영 | ko |
| dc.contributor.author | 장충석 | ko |
| dc.date.accessioned | 2013-02-25T21:16:50Z | - |
| dc.date.available | 2013-02-25T21:16:50Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 1994-06 | - |
| dc.identifier.citation | 새물리, v.34, no.3, pp.277 - 285 | - |
| dc.identifier.issn | 0374-4914 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/65352 | - |
| dc.language | Korean | - |
| dc.publisher | 한국물리학회 | - |
| dc.title | 전자싸이클로트론 공명에 의한 Ar 방전 플라즈마에서의 전자밀도 및 이온에너지의 특성 | - |
| dc.type | Article | - |
| dc.type.rims | ART | - |
| dc.citation.volume | 34 | - |
| dc.citation.issue | 3 | - |
| dc.citation.beginningpage | 277 | - |
| dc.citation.endingpage | 285 | - |
| dc.citation.publicationname | 새물리 | - |
| dc.contributor.localauthor | 장홍영 | - |
| dc.contributor.localauthor | 장충석 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김용진 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 김정형 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이평우 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 송선규 | - |
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