Browse "BiS-Journal Papers(저널논문)" by Author 한기호

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1
Fabrication Uncertainty and Noise Issues in High-Precision MEMS Actuators and Sensors

조영호; 이원철; 한기호, JOURNAL OD SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE, v.2, no.4, pp.280 - 287, 2002-12

2
고감지전압 및 가지전극을 이용한 고정도 정전용량형 미소가속도계

한기호; 조영호, 대한기계학회논문집 A, v.28, no.1, pp.1 - 10, 2004-01

3
고감지전압 및 가지전극을 이용한 고정도 정전용량형 미소가속도계의 전기적 잡음 감소 및 자율균형력 발생에 의한 강성 증가

한기호; 조영호, 대한전기학회 논문집 C, v.51, no.4, pp.169 - 174, 2002

4
극미세 교류 플라즈마 내에서의 홀 효과를 이용한 마이크로 자기센서

서영호; 한기호; 조영호, 대한기계학회논문집 A, v.27, no.8, pp.1266 - 1272, 2003-08

5
기판에 인접한 미소거울의 회전 점성감쇠

김응삼; 한기호; 조영호; 김문언, 대한전기학회 논문지, v.50, no.5, pp.243 - 248, 2001-05

6
비등간격 수평감지 전극구조의 정전용량형 다결정 실리콘 가속도계

한기호; 조영호, 전기학회논문지, v.50, no.7, pp.346 - 350, 2001-07

7
표면미세가공기술을 이용한 수평감지방식의 정전용량형 다결정 실리콘 가속도계의 설계, 제작 및 가공 오차 영향 분석

김종팔; 한기호; 조영호, 대한기계학회논문집 A, v.25, no.3, pp.529 - 536, 2001-03

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