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고감지전압 및 가지전극을 이용한 고정도 정전용량형 미소가속도계 한기호; 조영호, 대한기계학회논문집 A, v.28, no.1, pp.1 - 10, 2004-01 |
고감지전압 및 가지전극을 이용한 고정도 정전용량형 미소가속도계의 전기적 잡음 감소 및 자율균형력 발생에 의한 강성 증가 한기호; 조영호, 대한전기학회 논문집 C, v.51, no.4, pp.169 - 174, 2002 |
극미세 교류 플라즈마 내에서의 홀 효과를 이용한 마이크로 자기센서 서영호; 한기호; 조영호, 대한기계학회논문집 A, v.27, no.8, pp.1266 - 1272, 2003-08 |
기판에 인접한 미소거울의 회전 점성감쇠 김응삼; 한기호; 조영호; 김문언, 대한전기학회 논문지, v.50, no.5, pp.243 - 248, 2001-05 |
비등간격 수평감지 전극구조의 정전용량형 다결정 실리콘 가속도계 한기호; 조영호, 전기학회논문지, v.50, no.7, pp.346 - 350, 2001-07 |
표면미세가공기술을 이용한 수평감지방식의 정전용량형 다결정 실리콘 가속도계의 설계, 제작 및 가공 오차 영향 분석 김종팔; 한기호; 조영호, 대한기계학회논문집 A, v.25, no.3, pp.529 - 536, 2001-03 |
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