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비등간격 수평감지 전극구조의 정전용량형 다결정 실리콘 가속도계 한기호; 조영호, 전기학회논문지, v.50, no.7, pp.346 - 350, 2001-07 |
표면미세가공기술을 이용한 수평감지방식의 정전용량형 다결정 실리콘 가속도계의 설계, 제작 및 가공 오차 영향 분석 김종팔; 한기호; 조영호, 대한기계학회논문집 A, v.25, no.3, pp.529 - 536, 2001-03 |
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