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Investigation of three-dimensional pattern collapse owing to surface tension using an imperfection finite element model Park, SH; Kim, KH; Lim, Tae Woo; Yang, Dong-Yol; Lee, KS, MICROELECTRONIC ENGINEERING, v.85, no.2, pp.432 - 439, 2008-02 | |
대면적 3차원 마이크로 형상제작을 위한 스테이지 스캐닝 시스템을 이용한 이광자 흡수 광조형 공정 개발 임, 태우; 손, 용; 양, 동열; 이, 신욱; 공, 홍진; 박, 상후; Lim, Tae Woo; Son, Yong; Yang, Dong-Yol; Yi, Shin Wook; Kong, Hong Jin; Park, Sang-Hu, 한국정밀공학회지, Vol.25, No.1, pp.122-129, 2008-01 |
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