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레이저 빔 단면확대를 이용한 나노 복화공정의 패턴정밀도 향상에 관한 연구

박상후; 임태우; 양동열; 이신욱; 공흥진, 한국정밀공학회지, v.22, no.1, pp.175 - 182, 2005-01

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