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레이저 빔 단면확대를 이용한 나노 복화공정의 패턴정밀도 향상에 관한 연구 박상후; 임태우; 양동열; 이신욱; 공흥진, 한국정밀공학회지, v.22, no.1, pp.175 - 182, 2005-01 |
이광자 흡수 광환원 공정을 이용한 마이크로 금속형상 제작의 정밀화에 관한 연구 양동열; 손용; 임태우; Prabhakaran Prem; 이광섭, 대한기계학회논문집 A, v.32, no.9, pp.754 - 760, 2008-09 |
펨토초 레이저를 이용한 실리콘 웨이퍼 표면 미세가공 특성 김재구; 장원석; 조성학; 황경현; 나석주, 한국정밀공학회지, v.22, no.12, pp.184 - 189, 2005-12 |
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