Browse "ME-Journal Papers(저널논문)" by Author 이성규
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| 리소그라피 장비에서 xyθ 미세구동기의 최적 설계 및 제어 김동민; 김기현; 이성규; 권대갑, 한국정밀공학회지, v.19, no.12, pp.163 - 170, 2002-12 |
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Type
- 12,192 Article
Open Access
- 407 OA Article
Date issued
- 1,610 2020 - 2024
- 3,971 2010 - 2019
- 3,679 2000 - 2009
- 2,269 1990 - 1999
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