Browse "ME-Journal Papers(저널논문)" by Author 염영일

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LIGA 공정에서의 노광시간과 X-선 마스크 흡광체의 두께

길계환; 이승섭; 염영일, 한국진공학회지, v.8, no.2, pp.102 - 110, 1999-05

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