Showing results 1 to 2 of 2
Decoupled Type의 초정밀 이중서보의 제어에 관한 연구 남병욱; 김기현; 최영만; 김정재; 이석원; 권대갑, 한국정밀공학회지, v.23, no.2, pp.43 - 50, 2006-02 |
VCM을 이용한 나노 정밀도 스캐닝 용 초정밀 이중 스테이지 김기현; 권대갑; 최영만; 김동민; 남병욱; 이석원; 이문구, 한국정밀공학회지, v.22, no.5, pp.103 - 112, 2005-05 |
Discover