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단색 분광기 회절 격자의 정밀 구동 기구에 관한 연구 김대석; 최기봉; 김수현; 곽윤근, 한국정밀공학회지, v.14, no.11, pp.42 - 49, 1997-11 |
자기력을 이용한 비접촉 6자유도 미소위치결정 기구의 개발-설계, 모델링 및 제어 최기봉; 박기환; 김수현; 곽윤근, 대한기계학회논문집 A, v.20, no.4, pp.1164 - 1176, 1996-01 |
자기부상식 미동 매니퓰레이터의 추종성능 향상 최기봉; 김수현; 곽윤근, 한국정밀공학회지, v.16, no.5, pp.58 - 65, 1999-05 |
전자기력을 이용한 3자유도 정밀 위치 결정 기구에 관한 연구 이기하; 최기봉; 박기환; 김수현; 곽윤근, 한국정밀공학회지, v.15, no.11, pp.199 - 207, 1998-11 |
정밀근접구동과 조동기능이 결합된 일체형 광디스크 액츄에이터 최인묵; 최기봉; 김수현; 곽윤근, 대한기계학회논문집 A, v.23, no.3, pp.400 - 408, 1999-03 |
컴플라이언스를 갖는 웨이퍼 탐침 시스템용 미동 매니퓰레이터 최기봉; 김수현; 곽윤근, 한국정밀공학회지, v.14, no.9, pp.68 - 79, 1997-09 |
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