Browse "ME-Conference Papers(학술회의논문)" by Author 류현준

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연마율 개선을 위한 화학적기계연마 패드 표면돌기의 기계적 특성 제어

류현준; 김동근; 강석경; 정지훈; 김산하, 2021 한국정밀공학회 추계학술대회, 한국정밀공학회, 2021-11-25

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패드 단일미세접촉점에서의 화학적 기계연마 공정 분석

류현준; 김동근; 강석경; 정지훈; 김산하, 2020년도 한국트라이볼로지학회 제69회 학술대회, 한국트라이볼로지학회, 2020-09-25

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