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| ECR 플라즈마를 이용한 실리콘질화 박막 증착 Sun-Kyu Song; Hong-Young Chang, 한국표면공학회지, v.23, no.4, pp.218 - 224, 1990 |
| 병렬 안테나에 따른 플라즈마원의 균일도 연구 Geun-Hee Bai; Sang-Hun Seo; Hong-Young Chang, 한국진공학회지, v.7, no.3, pp.273 - 276, 1998-01 |
| 전자 싸이클로트론 공명 플라즈마 화학증착법에 의한 실리콘 질화막 형성 및 특성연구 Yong-Jin Kim; Jung-Hyung Kim; Sun-Kyu Song; Hong-Young Chang, 한국표면공학회지, v.25, no.6, pp.287 - 292, 1992 |
| 헬리콘 플라즈마의 전기적 특성 Seok-Min Yun; Jung-Hyung Kim; Sang-Hun Seo; Hong-Young Chang, 한국진공학회지, v.5, no.1, pp.85 - 92, 1996-03 |
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Type
- 5,716 Article
Open Access
- 510 OA Article
Date issued
- 808 2020 - 2024
- 1,977 2010 - 2019
- 1,595 2000 - 2009
- 975 1990 - 1999
- 340 1980 - 1989