텅스텐 실리사이드 산화시 발생하는 이상산화 현상억제에 미치는 이온 주입효과Effect of Ion Implantation on the Suppression of Abnormal Oxide Grown over WSi2
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 이재갑 | ko |
| dc.contributor.author | 노재성 | ko |
| dc.contributor.author | 이정용 | ko |
| dc.date.accessioned | 2013-02-24T14:01:34Z | - |
| dc.date.available | 2013-02-24T14:01:34Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 1994-12 | - |
| dc.identifier.citation | 한국진공학회지, v.3, no.3, pp.322 - 330 | - |
| dc.identifier.issn | 1225-8822 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/57661 | - |
| dc.language | Korean | - |
| dc.publisher | 한국진공학회 | - |
| dc.title | 텅스텐 실리사이드 산화시 발생하는 이상산화 현상억제에 미치는 이온 주입효과 | - |
| dc.title.alternative | Effect of Ion Implantation on the Suppression of Abnormal Oxide Grown over WSi2 | - |
| dc.type | Article | - |
| dc.type.rims | ART | - |
| dc.citation.volume | 3 | - |
| dc.citation.issue | 3 | - |
| dc.citation.beginningpage | 322 | - |
| dc.citation.endingpage | 330 | - |
| dc.citation.publicationname | 한국진공학회지 | - |
| dc.contributor.localauthor | 이정용 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 이재갑 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 노재성 | - |
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