보론 나이트라이드를 사용하는 Predeposition공정에서 질소유량의 영향
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 박형무 | ko |
| dc.contributor.author | 김충기 | ko |
| dc.date.accessioned | 2013-02-24T09:07:24Z | - |
| dc.date.available | 2013-02-24T09:07:24Z | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.created | 2012-02-06 | - |
| dc.date.issued | 1981-04 | - |
| dc.identifier.citation | 전기학회논문지, v.30, no.4, pp.45 - 48 | - |
| dc.identifier.issn | 1975-8359 | - |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/10203/55949 | - |
| dc.language | Korean | - |
| dc.publisher | 대한전기학회 | - |
| dc.title | 보론 나이트라이드를 사용하는 Predeposition공정에서 질소유량의 영향 | - |
| dc.type | Article | - |
| dc.type.rims | ART | - |
| dc.citation.volume | 30 | - |
| dc.citation.issue | 4 | - |
| dc.citation.beginningpage | 45 | - |
| dc.citation.endingpage | 48 | - |
| dc.citation.publicationname | 전기학회논문지 | - |
| dc.contributor.nonIdAuthor | 박형무 | - |
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