Showing results 2 to 3 of 3
Polymeric and molecular resists for short wavelength lithography = 단파장 리소그라피용 고분자 및 분자 레지스트link Yun, Hyo-Jin; 윤효진; et al, 한국과학기술원, 2002 |
Study on low-outgassing resists = 저가스 발생형 레지스트에 대한 연구link Shin, Han-Gyeol; 신한결; et al, 한국과학기술원, 2014 |
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