Showing results 1 to 2 of 2
Characteristics of helicon wave plasmas and application to low dielectric film deposition = 헬리콘 파 플라즈마의 특성 및 저유전율 박막 증착에의 응용link Yun, Seok-Min; 윤석민; et al, 한국과학기술원, 1999 |
저유전율 박막 제조 공정을 위한 자외선 소스의 개발 = Development of UV source for low dielectric material processinglink 정원봉; Jung, Won-Bong; et al, 한국과학기술원, 2002 |
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